一、 產品描（miáo）述

　　SuperView W1光學3D表麵輪廓儀是一款用於對各（gè）種精密器件（jiàn）及材料表麵進行亞納米級測量的檢測儀器。它（tā）是以白光幹涉技術為原理（lǐ）、結合精密Z向（xiàng）掃描模塊、3D 建模（mó）算法（fǎ）等對器件表麵進行非接觸式掃描（miáo）並建立表麵3D圖像，通過係統軟件對器件（jiàn）表麵3D圖（tú）像進行數據處理與（yǔ）分析，並獲（huò）取反映器件表麵質量的2D、3D參數，從而實現器件表（biǎo）麵（miàn）形（xíng）貌3D測量的光學檢測儀器。

　　SuperView W1光學（xué）3D表麵輪廓儀可廣泛應用於半導體（tǐ）製造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及（jí）其精密配件、光（guāng）學加工、微納（nà）材料及製（zhì）造、汽車零部件、MEMS器件（jiàn）等（děng）超精密加工行業及航空航天、國防軍工（gōng）、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗（cū）糙、低反射率到高反射率的物體表麵，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲（qǔ）率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計（jì）300餘種2D、3D參數作為（wéi）評（píng）價（jià）標準。

二、產品功能

1）係統光源及壽命：雙LED光源（白（bái）光和綠光），10萬小時超長壽命，終身無需更換；

2）測量模式：垂直掃描幹（gàn）涉模式（VSI），相移幹涉（shè）模式（PSI），結合VSI和PSI的自適應通用測（cè）量模式（USI）；

3）多區域自動分析：自動獲取圖案化形貌（mào）區域的三維信息（高度、寬度、麵積、體積、粗糙度、傾角等），同時具有自動統計分析功能。

4）具備各種類型樣品（pǐn）表麵微觀形（xíng）貌的3D輪廓重建與測量功（gōng）能；

5）具（jù）備表麵粗糙度（dù）和微（wēi）觀輪廓的檢測功能，粗糙度範圍（wéi）涵蓋（gài）0.1nm到數十微米的級別；

6）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數（shù）據（jù）處理功能；

7）具（jù）備粗糙度分析、輪廓（kuò）分析、結構分析、功能分析等（děng）表麵參數分（fèn）析功能；

8）具備自動對焦、自動測量、自動多區域測量、自（zì）動拚接（jiē）測（cè）量等自動化（huà）功（gōng）能；

9）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；

10）具備word、excel等數據報表導（dǎo）出功（gōng）能。

三（sān）、應用領域（yù）

　　對各種產品、部（bù）件和材料表麵的平麵度（dù）、粗糙度、波紋度（dù）、麵形輪廓、表麵缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、台階高度、彎曲（qǔ）變形情況、加工情況等表麵形（xíng）貌特（tè）征進行測量和分析。

應用範（fàn）例：

半導體.拋光矽片（piàn）、減薄矽片、晶圓IC
3C電子.藍寶石（shí）玻璃（lí）粗糙度、手機金屬殼模具瑕疵、手機（jī）油墨屏高度差
超精密加工.光學（xué）透鏡	精密加工.發動機葉片
精（jīng）密加工.金字塔型金剛石磁頭	標準樣塊.單刻（kè）線台階、多刻線粗糙度

四、性能特色

1.高精度、高重複性

1）采（cǎi）用光學幹涉技術（shù）、精密Z向掃描模塊和優（yōu）異的3D重建算法組成測量係統，保證測量精度高；

2）獨特的隔振係（xì）統，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地麵振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產車間環境中能穩定使用，獲得極（jí）高的測量重複性。

2.一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界麵（miàn）操作，無須切（qiē）換，測量數據自動統計，實現了快速批量（liàng）測量的功能；

2）可視化窗口（kǒu），便於用（yòng）戶實時觀察掃描過程；

3）幾何分析、粗（cū）糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；

4）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保（bǎo）存為分析（xī）模（mó）板（bǎn），批量樣（yàng）品一鍵分析，並提供數（shù）據分析與（yǔ）統計圖（tú）表（biǎo）功（gōng）能；

5）可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300餘種2D、3D參數。

3.精密操縱手柄（bǐng）

　　集成（chéng）X、Y、Z三個方向位移（yí）調整功能的操縱手柄，可快速完成載物台平移（yí）、Z向聚焦、找條紋等（děng）測量前工作。

 4.雙（shuāng）重防撞（zhuàng）保護措（cuò）施

　　除初（chū）級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位（wèi）進行（háng）防撞保護外，另在Z軸上設計（jì）有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表麵時，儀器自動進入緊急停止狀態，最大限度的（de）保護儀器，降低人為操作風險。

5.雙通道（dào）氣浮隔振係統

　　既可以接入客戶現場的穩定氣源也可（kě）以接入標配靜音空壓機，在無（wú）外接（jiē）氣源的條件下也可穩定工作。

五、應用案例：

六、樣（yàng）品測試報告：

　　點擊表格內圖片或文字可查看詳細報告數據

懇請注意：因市（shì）場發展和產品（pǐn）開發的需（xū）要，本產品資料中有關內容可能會根據實際情（qíng）況（kuàng）隨時更新（xīn）或修改，恕不（bú）另行通知，不便之處敬請諒解。