一、 產品描述

　　SuperView W1光學3D表麵輪（lún）廓儀是一款用於對各種精密器件及材料表麵進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光幹涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表麵進行非接觸式掃描並建立表麵3D圖像，通過係統軟件（jiàn）對器件表麵3D圖像進行數據處理與分析，並獲取反映器件表麵質量的2D、3D參數，從而實（shí）現器件表麵形貌3D測量的光學檢測儀器。

　　SuperView W1光學3D表麵輪廓儀可廣泛應用於半導體製造及封裝工藝檢測（cè）、3C電子（zǐ）玻璃屏及其（qí）精密配件、光學加工、微納材料及製造、汽車零（líng）部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、國防軍（jun1）工、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反（fǎn）射率（lǜ）的物體表麵，從納米到微（wēi）米級別工件的粗糙度、平整度（dù）、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據（jù）ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300餘種2D、3D參數作為評價標準。

二、產品功能

1）係統光源及壽命：雙（shuāng）LED光源（白光和（hé）綠（lǜ）光），10萬小時（shí）超長壽命，終（zhōng）身無需更換；

2）測量模式：垂直掃（sǎo）描幹涉模式（VSI），相（xiàng）移幹涉模式（PSI），結合VSI和PSI的自適應通用測量（liàng）模式（USI）；

3）多區域自動分（fèn）析：自動獲取圖案化形貌區域的（de）三維信息（高度（dù）、寬度、麵積（jī）、體積、粗糙度、傾角等），同時具有自動統計分析（xī）功（gōng）能。

4）具（jù）備各（gè）種類型樣品表麵微（wēi）觀形貌的3D輪廓重建與測量功（gōng）能；

5）具備表麵粗糙度和微觀輪廓（kuò）的檢測功能，粗糙度（dù）範（fàn）圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別；

6）具備校平、去除形（xíng）狀、去（qù）噪、濾波等數據處理功（gōng）能；

7）具備粗糙度分析、輪廓分析、結構分析、功能分（fèn）析等表麵參數分析功能；

8）具備自動對焦、自動測量、自（zì）動多區域測量、自動拚（pīn）接測量等自動化功能；

9）具備一鍵分（fèn）析、多文件（jiàn）分析等快速、批量分（fèn）析功能；

10）具備word、excel等數據報表導出功能。

三、應用領域（yù）

　　對各種產品、部件和材料表麵的（de）平麵度、粗糙度（dù）、波紋度、麵形（xíng）輪廓、表麵缺陷（xiàn）、磨損情況、腐蝕情（qíng）況、孔隙間（jiān）隙、台階高度、彎曲變形情況、加工情況等（děng）表麵形貌特（tè）征進行測量和分（fèn）析。

應用範例（lì）：

半（bàn）導（dǎo）體.拋光矽片、減薄矽（guī）片、晶（jīng）圓IC
3C電子.藍寶石玻璃粗糙度、手機金屬殼模具瑕疵、手機油墨屏高度差
超精密加工.光學透（tòu）鏡	精密（mì）加工（gōng）.發（fā）動機葉片
精密（mì）加（jiā）工（gōng）.金字塔型金剛石磁頭	標準樣塊.單刻線台階、多刻線粗（cū）糙（cāo）度

四、性能特色

1.高精度、高重複性

1）采用（yòng）光學幹涉技術、精密Z向（xiàng）掃描（miáo）模塊和優異的3D重建算（suàn）法（fǎ）組成測量係統，保證測量精（jīng）度（dù）高；

2）獨特的隔振（zhèn）係統，能（néng）夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地麵振動噪聲和空氣（qì）中聲波（bō）振動噪聲，保障儀器在大部分的生（shēng）產車間環（huán）境中（zhōng）能穩定使用，獲得極（jí）高的測量重複性。

2.一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析（xī）同界麵操作，無須切換，測量數據（jù）自動統計，實現了快速批量（liàng）測量的功（gōng）能；

2）可（kě）視化窗口，便於用戶（hù）實時觀察掃描過程；

3）幾（jǐ）何（hé）分析（xī）、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功（gōng）能分析五大功能模塊齊全（quán）；

4）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為（wéi）分析模板，批量樣品一鍵分（fèn）析，並（bìng）提供數據分析與統計圖表功能（néng）；

5）可測依（yī）據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300餘種2D、3D參數。

3.精密操縱手（shǒu）柄

　　集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完（wán）成載物台平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作（zuò）。

 4.雙重（chóng）防撞（zhuàng）保護措施

　　除初級的軟件ZSTOP設置Z向位（wèi）移下限位（wèi）進行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表麵（miàn）時，儀器自動進入緊急停止狀（zhuàng）態，最大限度的（de）保護儀器（qì），降低人為操作風險。

5.雙通道氣浮隔振係統

　　既可以接入客（kè）戶現（xiàn）場的穩定氣源也可以接入標配靜音空（kōng）壓機（jī），在無外（wài）接（jiē）氣源的條件下也可穩定工作（zuò）。

五、應用案例：

六、樣品測試報告：

　　點擊表格內圖片或文字可查看詳細報告（gào）數（shù）據

懇請注意：因市（shì）場（chǎng）發（fā）展和產品開發的需要，本產品資料中有關（guān）內容可能（néng）會根據實際情況隨時更新（xīn）或修改，恕不另行通知，不便（biàn）之處敬請諒解。